磐一（西安）裝備技術(shù)有限公司專業(yè)設(shè)計的電子束區(qū)域熔煉設(shè)備由爐體部分、夾料部分、真空系統(tǒng)部分、電子槍部分、高壓電源部分、自動控制系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)等組成。要求整體結(jié)構(gòu)緊湊，布局合理，維修維護方便。

      （1）爐體部分：爐體為立式結(jié)構(gòu)，包括304L不銹鋼爐體、不銹鋼爐門、碳鋼架體等配件。

      （2）溫度控制系統(tǒng)：加熱部分、測溫控溫儀表等。

      （3）電子槍：電子槍有三塊聚束極和一塊紫銅底板以及燈絲和相關(guān)高壓絕緣件組成。

      （4）真空與氣氛控制系統(tǒng)：真空泵、真空測量裝置、管道、閥門、接口等。管道、閥門一律采用不銹鋼或更優(yōu)質(zhì)材質(zhì)。

      （5）電子槍移動系統(tǒng)：電子槍移動系統(tǒng)應(yīng)帶有水冷系統(tǒng)，由不銹鋼制造，伺服電動缸進行傳動。

      （6）集成控制系統(tǒng)：可將爐體、真空系統(tǒng)、溫控系統(tǒng)等相關(guān)儀表的控制集成到控制臺）。

      （7）冷卻水循環(huán)系統(tǒng)：工藝冷卻水循環(huán)管道、閥門均采用不銹鋼或更優(yōu)材質(zhì)，以確保水質(zhì)穩(wěn)定。

      （8）安全連鎖裝置與預(yù)警系統(tǒng)：冷卻水和氣氛控制中超壓和冷卻能力不足時，有安全連鎖和必要預(yù)警。

電子束區(qū)域熔煉

        區(qū)域熔煉設(shè)備是將提純的材料制成細棒，通過電子束加熱，使一小段固體熔融成液態(tài)，熔融區(qū)域液相溫度僅比固態(tài)材料的熔點高幾度，稍加冷卻就會析出固相。熔融區(qū)沿著軸向緩慢移動，雜質(zhì)也隨著移動，最后富集于棒的端部。精煉時間通常為多個小時，在試棒進行區(qū)域熔煉之后，將端部雜質(zhì)含量高的部分切除，再進行第二次、第H次提純處理，達到提純目的。運用區(qū)域熔煉，不僅可以將雜質(zhì)均勻的滲透到晶體中去，而且在這一過程中，位錯結(jié)構(gòu)缺陷、夾雜物等可以得到有效控制，甚至被消除。用區(qū)熔堆積法可以制備單晶。

用戶單位：某國家科學(xué)研究院所